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三氟甲烷/CHF3

三氟甲烷/高纯三氟甲烷/CHF3

时间:2017-03-20 13:15来源:未知 作者:maotoogas 点击:

三氟甲烷 (CHF3)

 

项目名称

纯度指标(%)
三氟甲烷

≥99.999

≥99.9

杂质含量(ppm)

 

水(H2O)

≤3 ≤10
氧气(O2)

≤2

-

氮气(N2)

≤5 -
二氧化碳(H2SiF6)

≤3

≤100

酸度(Acidity)

≤0.1

≤1

 

包装:采用40L、47L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。

 

用途:用作电子工业等离子体化学蚀刻剂、低温(-100℃)制冷剂及氟有机化合物的原料。

 

理化性质: 是一种无色、微味,不导电的低毒类气体,是理想的卤代烷替代物。高浓度三氟甲烷具有窒息麻醉作用,对脑神经有损害。液体接触时可能引起冻伤。

 

注意事项:储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易(可)燃物分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。